Sputteranlage

Aurion B-VPA-28

Sputteranlage – Aurion Anlagentechnik

Hersteller: Aurion Anlagentechnik
Anlagentyp: B-VPA-28
Seriennummer: 302343

Technische Daten und Ausstattung

Die Sputteranlage verfügt über ein Eigengewicht von ca. 7.000 kg und Abmessungen von 6.217 × 3.500 × 2.100 mm (B × T × H), jeweils ohne Vakuumpumpen. Das Kammervolumen beträgt ca. 670 Liter. Die maximale Umgebungstemperatur beträgt 25 °C.

Der elektrische Netzanschluss erfolgt mit 400/230 V bei 50 Hz. Die Anschlussleistung beträgt ca. 100 kVA bei einer Stromaufnahme von ca. 125 A.

Substrat- und Heizsystem

Substratabmessungen: 38 × 31 × 1,08 mm

Transportpaletten: 416,9 × 504,5 mm

Kapazität: 144 Substrate je Transportpalette

Substratheizung bis maximal 250 °C

Vakuum- und Prozessgassystem

Erreichbarer Enddruck: < 1 × 10⁻⁷ hPa

Prozessgas: Argon

2 Flussregler Bronkhorst F-201CS mit jeweils 500 mln/min

Beschichtungssystem

2 DC-Generatoren ADL GX 150/800 mit jeweils 15 kW

Vakuumkomponenten (Pfeiffer Vacuum)

4 × Vorvakuumpumpe DUO 35

2 × Vorvakuumpumpe DUO 65

2 × Wälzkolbenpumpe Okta 500
Chodj Ah Tlgspfx Akbod

3 × Turbopumpe HiPace 1200 U

1 × Turbopumpe HiPace 2300 U

Ventiltechnik der Firma VAT

Steuerungs- und Automatisierungstechnik

Die Anlagensteuerung basiert auf einer Siemens SIMATIC S7-Steuerung und umfasst einen Panel-PC mit WinCC zur Bedienung und Prozessvisualisierung.