Pfeiffer C590 PVD-Verdampfungs-Sputteranlage

Pfeiffer C590

Die Gelegenheit:
2x Pfeiffer Classic 590 verfügbar!
Preis: 99.500 EUR/Stück.
Pgjdehwv Tfopfx Ahwew
Konfiguration Beschichter 1:

2x Pfeiffer TPH 2301 (2300ls) komplett überholt
Pfeiffer DCU 600
2x VAT Drosselklappe 64048-pe48-ads2/0001
1x Pfeiffer PKR251 Vollbereichssensor
Pfeiffer TPR280 für Vorvakuum
Pfeiffer DUO 120 Vorpumpe (120m3/h)
Vakuumkammer:
für Substratgröße rund 840mm
inkl. Abschirmung und Ersatzabschirmungsset
2x Ansichtsfenster
Mehrere Durchführungen
Drehdurchführung inkl. Thermoelement
Infrarot-Heizung
Watermanifold plus Ventile
Vakuumventile für Entlüftung-Pumpdown etc.
Anmerkungen: Derzeit für Resistance Evaporation verwendet (keine Boote verfügbar)

Der derzeitige PLC und das E-Kabinett werden aufgrund von IP entfernt. Aber: Bei Bedarf kann unsere Firma Orange Thin Films eine komplette Erneuerung mit Labview-Automatisierung und neuen Prozessen (wie Eeam-Sputtering-Evaporation usw.) durchführen.


Konfiguration Beschichter 2:

2x Pfeiffer TPH 2201 s p c (horizontal turbo 2200ls) komplett überholt
Pfeiffer DCU 600
2x VAT Drosselklappe 64048-pe48-ads2/0001
1x Pfeiffer PKR251 Vollbereichssensor
Pfeiffer TPR280 für Vorvakuum
Pfeiffer DUO 120 Vorpumpe (120m3/h)
Vakuumkammer:
für Substratgröße rund 840mm
inkl. Abschirmung und Ersatzabschirmungsset
2x Ansichtsfenster
Mehrere Durchführungen
Drehdurchführung inkl. Thermoelement
Infrarot-Heizung
Watermanifold plus Ventile
Vakuumventile für Entlüftung-Pumpdown etc.
Anmerkungen: Strom, der für die Widerstandsverdampfung verwendet wird (keine Boote verfügbar)
Der derzeitige PLC und das E-Kabinett werden aufgrund von IP entfernt. Allerdings: Bei Bedarf können Sie
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