Sputteranlage Magnetron SputteringSystemVON ARDENNE
VISS 300
Daten zur Maschine
- Maschinenbezeichnung:
- Sputteranlage Magnetron SputteringSystem
- Hersteller:
- VON ARDENNE
- Modell:
- VISS 300
- Maschinennummer:
- AB 460 200
- Baujahr:
- 2002
- Zustand:
- sehr gut (gebraucht)
- Funktionsfähigkeit:
- voll funktionsfähig
- Betriebsstunden:
- 10.000 h
Preis & Standort
- Standort:
- Biendorf, Deutschland
Details zum Angebot
- Inserat-ID:
- A224-38302
- Aktualisierung:
- zuletzt am 29.07.2026
Beschreibung
Die Anlage ist aus dem Jahr 2002 und wurde im Jahr 2016 um eine dritte Kammer erweitert.
Die Anlage besitzt eine Schleuse sowie die 3 Kammern mit Magnetron Sputtereinheiten SSM750RF von Ardenne.
Dazu gehört 1 Generator von Trumpf Hüttinger PFG2500RF.
Es gibt noch eine Doppel Magnetron Sputterquelle derzeit nicht verbaut sowie die dazugehörige Ansteuerung von Astral.
Es gibt ein Temperiergerät für einen der beiden Kühlkreisläufe um eine konstante Temperatur von zBsp. 38°C zu halten, sowie 2 externe Kühlgeräte mit Wärmetauscher.
In den Kammern wurden Zinkoxid (ZnO) und Zinksulfid (ZnS) gesputtert.
Die Anlage wurde bis Ende Mai 2026 genutzt und wurde ohne defekte abgeschaltet.
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Die Anlage wurde vom Betreiber regelmäßig gewartet und ist in einem sehr gepflegten Zustand.
Wir werden vor Auslieferung den Service aller verbauten Vakuumvorpumpen und Turbopumpen (Lagerwechsel) durchführen.
Auf Wunsch kann eine Montage und Inbetriebnahme vor Ort dazugebucht werden.
Wenn Sie Interesse an der Anlage haben stehen wir Ihnen gerne für weitere Fragen zur Verfügung.
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